Микроинтерферометр Мии-4 Инструкция Скачать' title='Микроинтерферометр Мии-4 Инструкция Скачать' />Измерение толщины металлических пленок с помощью интерферометра МИИ 4. НТУУ КПИКафедра физики металлов. Курс Тонкопленочное материаловедениеЛабораторная работа. Общие сведения о сути метода. Схема микроинтерферометра МИИ 4 впервые была разработана и практически воплощена академиком В. Линником. Принцип действия микроинтерферометра основан на явлении интерференции света. На практике для получения двух систем волн, способных интерферировать, пользуются разделением пучка лучей, исходящих из одной точки источника света, на два пучка. В микроинтерферометре МИИ 4 в качестве разделяющей системы используется наклонная плоскопараллельная пластинка, имеющая полупрозрачное светоделительное покрытие. Микроинтерферометр МИИ4 бесконтактный оптический прибор, предназначен для измерения параметров шероховатости полированных и. Баба Яга Сказка. Половину падающего на нее света пластинка отражает, а вторую половину пропускает, вследствие чего образуются две системы световых волн, способных между собой интерферировать. В результате интерференции двух систем волн в фокальной плоскости окуляра наблюдаются характерные интерференционные полосы. Разность хода интерферирующих лучей от центра поля зрения  к его краям увеличивается и проходит все значения 0,. В точках поля, где разность хода равна. При изменении взаимного расположения зрачков и расстояния между ними соответственно изменяются интервалы между интерференционными полосами и направлени. Интервал между полосами. В отъюстированном микроинтерферометре при работе в монохроматическом свете в поле зрения должны быть видны чередующиеся черные и светлые полосы. Два светофильтра, с помощью которых получается монохроматический свет, пропускают соответственно желтую и зеленую части спектра. Без светофильтра наблюдается интерференционная картина в белом свете. Как видно из формулы 1, интервал между полосами. Поэтому в белом свете полосы для разных длин волн не совпадают друг с другом, за исключением нулевой полосы, определяющей ось симметрии интерференционной картины. Таким образом, интерференционная картина в белом свете имеет следующиий вид в центре наблюдается белая ахроматическая полоса, по обеим сторонам которой находятся две черные полосы с цветными каймами, и дальше по три четыре цветные полосы с каждой стороны. Переход от одной светлой или темной полосы к другой светлой или темной полосе соответствует изменению разности хода интерферирующих лучей на одну длину волны. В поле зрения микроинтерферометра наблюдаются одновременно интерференционные полосы и исследуемая поверхность. Перемещение исследуемой поверхности S2 вверх или вниз на какую либо малую величину вызывает изменение хода луча на двойную величину перемещения поверхности, так как свет проходит это расстояние дважды. Изменение хода луча в одной ветви микроинтерферометра вызовет изменение разности хода интерферирующих лучей, в результате чего полосы в поле зрения сместятся. M44/MIA-D/000021.jpg' alt='Микроинтерферометр Мии-4 Инструкция' title='Микроинтерферометр Мии-4 Инструкция' />Микроинтерферометр МИИ4М предназначен для измерения параметров шероховатости полированных и доведенных поверхностей, а также для. Используя цифровую обработку результатов измерений, расширены измерительные возможности микроинтерферометра МИИ4 на область. В микроинтерферометре МИИ4 в качестве разделяющей системы используется наклонная плоскопараллельная пластинка, имеющая. Метров, а также способы применения микроинтерферометров для измере ния параметров слоистых. Микроинтерферометр Линника МИИ4. M44/MIA-D/000031.jpg' alt='Микроинтерферометр Мии-4 Инструкция' title='Микроинтерферометр Мии-4 Инструкция' />При смещении исследуемой поверхности на величину, соответствующую половине длины световой волны. Так, например, высота неровности на поверхности 0,2. При измерении величину искривления выражают в долях интервала между интерференционными полосами. Зная длину волны света, можно получить высоту неровности в микрометрах. Оптическая схема микроинтерферометра. Рис. 2 Оптическая схема микроинтерферометра. Оптическая схема микроинтерферометра показана на рис. Цифровой метод измерения толщины нанометровых пленок на базе микроинтерферометра МИИ4. Мешалкин a., И. Документ Широко известный микроинтерферометр МИИ4, созданный по. Измерение параметров пленок с помощью микроинтерферометра мии4. Нить лампы накаливания 1 проектируется коллектором 2 в плоскость апертурной диафрагмы 3. В фокальной плоскости проекционного объектива 4 помещена полевая диафрагма 5, которая изображается объективом 4 в бесконечности. После проекционного объектива параллельный пучок лучей попадает на разделительную пластинку 6, на одной стороне которой нанесено светоделительное покрытие. Разделительная пластинка делит падающий на нее пучок света пополам одну половину она отражает, другую пропускает. Пучок лучей, отраженный от пластинки 6, собирается в фокусе объектива 7 на исследуемой поверхности, после отражения от которой снова проходит через объектив 7, пластинку 6 и собирается в фокусе объектива 8, где наблюдается изображение исследуемой поверхности. Зеркало 9 направляет пучки лучей в визуальный тубус. Второй пучок лучей, пройдя через разделительную пластинку 6, падает на компенсатор 1. При этом часть лучей проходит через пластинку б и не участвует в образовании изображения, а другая часть лучей отражается от пластинки 6. В фокальной плоскости объектива 6 происходит наложение обоих лучей с образованием интерференционной картины. Светофильтры отличаются друг от друга своими характеристиками. При фотографировании пленочным фотоаппаратом зеркало 9 выключается из хода лучей, и свет, пройдя через гомал 1. Фотографирование с помощью цифрового аппарата производится через окуляр микрофотометра. Устройство микроинтерферометра. Микроинтерферометр МИИ 4 имеет круглое основание 1. К верхнему торцу основания привинчена полая цилиндрическая колонка 2. При помощи двух микрометрических винтов 2. Столик можно также поворачивать вокруг вертикальной оси и стопорить винтом 2. В колонке 2. 1 под углом 7. Для измерения величины искривления интерференционных полос на наружный диаметр тубуса вместо окуляра устанавливают винтовой окулярный микрометр 2. МОВ 1 1. 6х. На тубусе имеется кольцо 2. При визуальном наблюдении или измерении зеркало 9 должно быть введено в оптическую систему, а при фотографировании выведено. Фокусировка микроскопа на объект осуществляется перемещением интерференционной головки при вращении микрометрического винта 2. Величина вертикального перемещения интерференционной головки может быть отсчитана по шкале барабана микрометрического винта. Интерференционная головка укреплена на внутреннем стакане микроинтерферометра. Она состоит из левой, средней и правой частей. Левая часть головки включает в себя фонарь 2. В трубке установлена горизонтально выдвигающаяся пластинка 3. В двух крайних отверстиях этой пластинки закреплены светофильтры разных характеристик зеленый или желтый для получения монохроматического света, среднее отверстие, свободное, используется при работе в белом свете. Вращением кольца 3. В среднюю часть интерференционной головки ввинчен объектив 7 см. В корпусе средней части установлены разделительная пластинка 6 и компенсатор 1. Рукоятка 3. 4 см. При включенной шторке лучи не попадают в объектив 1. На торце рукоятки 3. В правой части головки установлены объектив 1. Эта часть имеет устройство для изменения ширины и направления интерференционных полос. Ширина полос изменяется вращением винта 3. Изменение направления полос производится этим же винтом путем вращения его вокруг оси интерференционной головки. Винт 3. 6 служит для смещения интерференционных полос в поле зрения микроскопа. Определение толщины пленки. Измерение толщины пленки сводится к определению высоты ступеньки на границе раздела пленка подложка. И пленка, и подложка не должны иметь царапин, отслоений и сколов, попадающих в зону наблюдения. При правильной настройке микроинтерферометра в его поле зрения должны быть видны одновременно граница пленка подложка и интерференционные полосы, изогнутые в местах, где собственно проходит ступенька, причем интерференционные полосы должны быть ориентированы перпендикулярно к направлениюступеньки. При работе с белым светом высота ступеньки определяется по следующей формуле 2где 0,2. При работе с монохроматическим светом по формуле 3где. Для желтого светофильтра она составляет 0,5. Измерение величины интервала между полосами. Величина интервала между полосами N1 N2 выражается числом делений шкалы барабана окулярного микрометра.